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測定の実施(研磨品質)

研磨品質の測定方法

測定ボタンを使用して、単一または複数の測定を開始し、結果をテーブルに直接送信します。

  1. センサーが校正されていることを確認してください。

  2. 複数測定機能にアクセスするには、測定ボタンを右クリックします。

  3. 測定ボタンを押して測定を開始します。

    Measurement button

対話型測定機能を使った研磨品質の測定方法

対話型測定機能では、サンプル表面の「ライブビュー」が表示されます。

測定前に、表面カメラを使用して特定の関心領域を特定します。

測定手順

  1. センサーが校正されていることを確認してください。

  2. 対話型測定機能を有効にするためのボタンを押します。

    Interactive button
    Polish

  3. 自動露出ボタンを使用して、表面の反射率に応じてカメラ露出を最適化します。

  4. 必要に応じて、スライダーまたは入力ボックスを使用して手動で露出を調整します。

  5. 青色の四角形 (1) は、このモジュールでの測定範囲を示します。

  6. 表面上で測定したい領域を特定したら、センサーを動かして青色の四角形 (1) 内にその領域が収まるようにします。

  7. 測定ボタン (4) を押してプレビュー測定を実施します。

    Polishing 2

  8. 特徴マップ (5) に、識別された要素が表示されます。

  9. 測定パラメータを調整して、識別された特徴のプロファイルを変更できます。 詳細はこちら

  10. 測定パラメータを調整したら、「パラメータを適用」ボタン (6) を押して解析を再処理します。

  11. 解析結果が満足できるものであれば、「チェック(✓)」ボタン (7) を押して測定結果をデータテーブルに保存します。

  12. 「×」を押すと、対話型測定プロセスを最初からやり直します。

07 March 2025