研磨品質パラメータの調整

1. 感度（Sensitivity）

• 目的 ：背景とのコントラストに基づき、線状の欠陥を検出する閾値を制御します。

• オプション ：最低（Lowest）、低（Low）、中（Moderate）、高（High）、最高（Highest）

• 動作原理：

  • 感度を高くすると、微細な欠陥も検出できますが、**誤検出（False Positives）**が増える可能性があります。

  • 感度を低くすると、より目立つ欠陥にフォーカスできますが、 細かい欠陥を見逃す可能性があります。

• 調整手順：

  1. 最初は 「最低（Lowest）」 に設定します。

  2. 重要な欠陥が検出されない場合は、感度を上げて調整します。

2. 最小長（Minimum Length）

• 目的 ：解析に含める欠陥の最小サイズ（単位：ミクロン）を設定します。

• 動作原理：

  • 値を大きくすると、小さな欠陥を除外し、 より深刻な欠陥に集中できます。

  • 値を小さくすると、 微細な欠陥も検出されますが、不要なマークも検出される可能性があります。

• 調整手順：

  1. 品質基準に基づき、 中程度の値 （デフォルトは100ミクロン ）で開始します。

  2. より短い欠陥を検出する必要がある場合は、値を下げます。

  3. より大きな欠陥のみに集中したい場合は、値を上げます。

  4. 製品品質基準に適した欠陥の典型的なサイズに基づいて調整します。

3. マスク半径（Mask Radius）

• 目的 ：解析から高輝度スポット光の直接反射を除外します。

1. デフォルトの半径では、 滑らかな鏡面仕上げの反射スポットを除外します。

2. 表面ヘイズや研磨マークにより反射スポットが拡大し、欠陥検出を妨げる場合は、マスク半径を大きく設定します。